疑難解答
單晶硅壓力變送器是如何實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性的?單晶硅壓力變送器作為一種高精密的測(cè)量?jī)x器,在自動(dòng)化領(lǐng)域的應(yīng)用非常普遍和意義重大。在大多數(shù)的重要工業(yè)領(lǐng)域都得到廣泛的應(yīng)用,如火力發(fā)電、核電、石油冶煉、化工、鋼鐵、造紙、制藥、食品、水泥制造等領(lǐng)域我們通過(guò)以下幾點(diǎn)來(lái)了解它是如何實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性的。
1)準(zhǔn)確度等級(jí)達(dá)到0.05級(jí),并取得計(jì)量器具制造許可證,達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平;
2)微差壓變送器采用獨(dú)特的雙過(guò)載保護(hù)膜片專利技術(shù),可達(dá)±0.075%的高測(cè)量精度,最大的工作靜壓達(dá)到16MPa,最小的測(cè)量差壓為-50Pa~50Pa,遙遙領(lǐng)先國(guó)內(nèi)外技術(shù)水平;
3)差壓變送器最高工作靜壓可達(dá)40MPa,單向過(guò)載壓力最高可達(dá)40MPa;
4)差壓傳感器內(nèi)部可選封裝絕壓傳感器,可用于現(xiàn)場(chǎng)工作靜壓的測(cè)量和顯示,也可應(yīng)用于靜壓補(bǔ)償,使得單晶硅壓力變送器的靜壓性能極佳,使得典型規(guī)格的靜壓誤差最優(yōu)為≤±0.05%/10MPa。同時(shí),由于內(nèi)部絕壓傳感器的集成,保證了多參數(shù)變送器的成功研發(fā),可廣泛用于氣體流量的測(cè)量領(lǐng)域,并填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高端多參數(shù)變送器的空白。
5)壓力、差壓傳感器內(nèi)部集成的高靈敏度溫度傳感器,使得變送器溫度性能極佳,最優(yōu)為≤±0.04%/10K;
6)6kPa和40kPa微壓力量程表壓/絕壓變送器可選用獨(dú)特?zé)o傳壓損耗過(guò)載保護(hù)膜片專利技術(shù),單向過(guò)壓最高達(dá)7MPa,大幅拓寬了微壓力傳感器的特殊領(lǐng)域的應(yīng)用范圍;
7)典型規(guī)格的長(zhǎng)期零位漂移量≤±0.1%/3年,并通過(guò)12萬(wàn)次90%的量程的極限壓力疲勞測(cè)試,達(dá)到了10年免維護(hù)的能力;
8)實(shí)現(xiàn)了極寬的測(cè)量范圍0-100Pa~60MPa,最高100:1的可調(diào)節(jié)量程比輸出;
9)遠(yuǎn)傳變送器采用先進(jìn)的超高溫專利技術(shù),可應(yīng)用于400℃超高溫測(cè)量場(chǎng)合,突破了遠(yuǎn)傳產(chǎn)品應(yīng)用和測(cè)量的瓶頸。
通過(guò)以上多種途徑的技術(shù)引進(jìn)、消化和吸收后,再融入自主研發(fā)的創(chuàng)新性設(shè)計(jì),使得YR-ER100系列高穩(wěn)定性壓力、差壓變送器達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平,其準(zhǔn)確度等級(jí)達(dá)到了最高等級(jí)的0.05級(jí),其部分性能甚至超越了國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家的變送器水平。最終不僅使企業(yè)保證擁有自主核心技術(shù)和產(chǎn)權(quán)的前提下,還為中國(guó)的工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域的蓬勃發(fā)展和安全運(yùn)行打下扎實(shí)的基礎(chǔ),并為中國(guó)的工業(yè)現(xiàn)代化發(fā)展做好了充分的準(zhǔn)備。
通過(guò)實(shí)踐表明可以從超穩(wěn)型單晶硅原理芯片的選擇、超穩(wěn)型單晶硅硅片的無(wú)應(yīng)力封裝、回程誤差的消除、靜壓誤差的減弱和補(bǔ)償、儀表量程比的拓寬、接液面的特殊處理以及超高溫測(cè)量等諸多技術(shù)方面的著手和突破,可以大幅提升高穩(wěn)定性壓力、差壓變送器的全性能、準(zhǔn)確度等級(jí)和可靠性。